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1、濺射薄膜壓力敏感元件使用說明1. 概述濺射薄膜壓力敏感元件采用濺射工藝在174PH金屬膜片上制作絕緣層及金屬應變電橋和溫度敏感電阻，具有穩定性高、耐高溫、介質適應性強的特點。2. 結構外形和電器接口膜片內孔直徑A4.5mm 壓力量程：0.5MPa2MpaA3.5mm 壓力量程：3.5MPa220Mpa3. 敏感膜片結構安裝要求敏感膜片和壓力接口的連接采用焊接方式（圓周對焊），具體安裝圖如下所示： 焊接基座 焊后結構 膜片和基座的焊接可采用電子束焊、激光焊及微束氬護焊。焊接時膜片部分應加散熱工裝，并保護電橋部分（上圖1面）。膜片電橋部分（上圖1面）在焊接過程中溫度應小于150。 基座材料應采用1
2、74PH或1Cr18Ni9Ti、316不銹鋼材料。4. 使用注意事項4.1 嚴禁用手或其他物體接觸膜片表面（應變圖形），膜片表面的任何劃傷均會損壞膜片。4.2 膜片電接點方式：鎳材料采用超聲壓焊，可用于高溫傳感器。4.3 膜片電接點焊接后建議使用硅凝膠涂覆膜片表面以保護應變電橋。4.4 膜片焊接后，應對傳感器組件進行機械穩定20次以上，壓力大小為量程的2倍。根據具體應用情況，進一步進行機械穩定（機械穩定次數視膜片穩定性要求而定，建議在202000次之間）。4.5 建議對應變電阻進行電老化：供電電壓1015VDC，150 12小時。根據實際情況可進一步電老化。4.6 應變電橋的供電應采用直流恒壓
3、供電，供電電壓為020VDC。5. 主要技術指標：量程：0.5220MPa;電橋輸入阻抗：34K電橋輸出阻抗：2.83.8 K零點：1mV/V靈敏度：1mV/V2.6mV/V(根據量程變化)絕緣電阻：大于500M 100VDC。工作溫度范圍：70200；（錫焊連接，最高溫度以焊錫使用溫度為準。）零點溫度漂移：小于0.005%FS/靈敏度溫度漂移：小于0.005%FS/長期穩定性：小于0.1%FS/年。靜態過載壓力：2倍量程壓力；動態過載壓力：1.25倍量程壓力；破壞壓力：10倍量程壓力溫度敏感特性：Vc=（溫度輸出）（電源）Vc初值：46mV/V60mV/VVc靈敏度：48005100ppm/ 4
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